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MKS Instruments電容壓力計(jì),壓力傳感器技術(shù)參數(shù)

更新時(shí)間:2023-03-10   點(diǎn)擊次數(shù):1831次

 

MKS Instruments,Inc.是過(guò)程控制解決方案的全球提供商,該解決方案可以測(cè)量,控制,供電,監(jiān)視和分析先進(jìn)制造過(guò)程的關(guān)鍵參數(shù),以提高過(guò)程性能和生產(chǎn)率。我們的產(chǎn)品源于我們?cè)趬毫y(cè)量和控制,流量測(cè)量和控制,氣體和蒸汽輸送,氣體成分分析,殘留氣體分析,控制和信息技術(shù),臭氧產(chǎn)生和輸送,射頻和直流功率,無(wú)功氣體產(chǎn)生方面的核心競(jìng)爭(zhēng)力以及真空技術(shù)。

 

壓力測(cè)量與控制

MKS是壓力和真空測(cè)量的。MKS系列壓力和真空測(cè)量?jī)x器包括Baratron®電容壓力計(jì),壓力傳感器,壓力開(kāi)關(guān)和壓力控制子系統(tǒng)。

MKS系列用于控制真空和壓力的解決方案包括下游閥門和控制器,上游閥門和控制器,真空隔離閥和集成解決方案。我們的廣泛產(chǎn)品包括高速蝶形控制閥,高速擺閥,SST隔離閥以及具有基于模型的高級(jí)控制的閉環(huán)壓力控制器。

MKS是下游壓力控制子系統(tǒng)的,該子系統(tǒng)集成了排氣節(jié)流閥,先進(jìn)的數(shù)字控制器和Baratron®過(guò)程壓力計(jì)。我們的整體解決方案以更快的設(shè)定值提供更高的吞吐量,減少了過(guò)沖/下沖,并增加了正常運(yùn)行時(shí)間。

流量測(cè)量與控制

MKS系列質(zhì)量流量控制器儀器可在各種應(yīng)用中測(cè)量和控制關(guān)鍵氣體的流量,例如半導(dǎo)體制造,光學(xué)涂料和平板顯示器制造。

   

MKS Instruments的質(zhì)量流量控制器(MFC)和質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以進(jìn)行模擬或數(shù)字通訊,并具有彈性體或金屬密封件。模擬質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)是基本應(yīng)用的理想選擇,以簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)高效的封裝提供高性能。與模擬質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)相比,數(shù)字質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)設(shè)備具有多個(gè)優(yōu)點(diǎn)-改進(jìn)的診斷功能,單個(gè)包裝中的多種氣體功能以及多種范圍的功能,從而減少了備件需求并總體上降低了擁有成本。


 

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